1. Сапфировые подложкиДиаметры: 2-6 дюймов
Ориентации: A-plane, R-plane, M-plane, C-plane
Обработка: epi-polish, fine ground
2. Арсенид галлиевые подложки (GaAs)
Диаметры: 2-6 дюймов
Типы: P&N type, semi-conducting, semi-insulating
3. Карбид кремниевые подложки (SiC)
Диаметры: 2-4 дюйма
Типы: 4H-N, 6H-N, 6H-SI
4. Стеклянные подложки
Диаметры: 2-8 дюймов
Материалы: Fused Silica, Borofloat, B270
5. Кварцевые подложки
Диаметры: 2-6 дюймов
Срезы: X-cut, Y-cut, Z-cut